FT-330系列普通四探針方阻電阻率測(cè)試儀
FT-330 Series common four probe resistance ratio test instrument

一.    描述Description：
采用范德堡測(cè)量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響及誤差，提供通訊接口，PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.

二.四點(diǎn)探針測(cè)試儀參照標(biāo)準(zhǔn)standard：
硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造；GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》.

三.適用范圍Applicable scope：
適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具；液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量和系數(shù)補(bǔ)償，并帶有溫度補(bǔ)償功能，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；采用AD芯片控制，恒流輸出，選配：PC軟件，保存和打印數(shù)據(jù)，生成報(bào)表
用于：覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試等相關(guān)產(chǎn)品

四.四點(diǎn)探針測(cè)試儀型號(hào)及參數(shù)Models and technical parameters
規(guī)格型model    FT-331    FT-332    FT-333    FT-334    FT-335    FT-336
1.方塊電阻范圍Sheet resistance     10-5～2×105Ω/□    10-4～2×105Ω/□    10-3～2×105Ω/□    10-3～2×104Ω/□    10-2～2×105Ω/□    10-2～2×104Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity     10-6～2×106Ω-cm    10-5～2×106Ω-cm    10-4～2×106Ω-cm    10-4～2×105Ω-cm    10-3～2×106Ω-cm    10-3～2×105Ω-cm
測(cè)試電流范圍
Test current     0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    10μA，100µA，1mA，10mA，
100mA    0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA    1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度 Current accura    ±0.1%     ±0.2%     ±0.2%     ±0.3%     ±0.3%     ±0.3% 
5.電阻精度Resistance     ≤0.3%    ≤0.3%    ≤0.3%    ≤0.5%    ≤0.5%    ≤0.5%
6.顯示讀數(shù)display    液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測(cè)試方式test mode    普通單電測(cè)量
8.工作電源power    輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<30W 
9.誤差errors    ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 Standard Sample results）
10.選購功能choose to buy    選購1.pc軟件； 選購2.方形探頭； 選購3.直線形探頭； 選購4.測(cè)試平臺(tái)；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻

11.測(cè)試探頭Test probe    探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球

溫馨提示：半導(dǎo)體材料測(cè)量，我們提供四探針法，低阻，高阻，雙電組合法，普通單電法，以及高溫電阻率測(cè)試儀系列，歡迎和我們保持聯(lián)系---瑞柯儀器